Эсм
Ссылки
В общем случае Электростатическая Силовая Микроскопия (ЭСМ) может быть использована в нескольких вариантах, в зависимости от типа исследуемого образца и вида необходимой информации.
Наиболее распространена из них Бесконтактная ЭСМ, основанная на двухпроходной методике. На втором проходе кантилевер приводится в колебательное состояние на резонансной частоте, при этом кантилевер заземлен или находится при постоянном смещении V.
Группа АСМ методов, основанных на регистрации электростатических сил, действующих между зондом и образцом [1], включает Электростатическую силовую микроскопию (ЭСМ) и Кельвин-зондовую силовую микроскопию (КЗСМ), а также методы измерения локальных диэлектрических свойств в различных конфигурациях, среди которых микроскопия напряжений Максвелла и другие [2, 3].
P.S. Рекомендуем также воспользоваться поиском в справочной системе КонсультантПлюс, там есть бесплатный пробный доступ.
При работе по электростатическим методам АСМ зонд приводится в колебания с частотой ωmech с помощью пьезопривода, а электростатические силы возникают вследствие приложения к зонду постоянного или переменного (на частоте ωmech или другой частоте ωelec) электрического напряжения смещения.
Этот метод ССМ обладает определенными преимуществами по сравнению с Методом Зонда Кельвина (МЗК). Отображение отклонений амплитуды или фазы определяются емкостной зонд-образец силовой производной, т.е. второй производной емкости зонд-образец. В результате Бесконтактная ЭСМ приводит к более высокому разрешению поскольку отношение паразитной емкости конуса зонда и плоской части кантилевера к полезной емкости кончик зонда-образец минимизируется [2, 3].
Емкостная сила взаимодействия зонд-образец (или скорее ее производная) приводит к сдвигу резонансной частоты. Соответственно амплитуда колебаний кантилевера уменьшается и фаза его колебаний сдвигается [1]. При этом и амплитуда и фаза колебаний могут быть измерены и использованы для отображения распределение электрического потенциала по поверхности образца.
Но есть много много других. Начните сначала, чтобы найти нужную!
В ходе сканирования проводящий зонд испытывает одновременно механическое и электростатическое воздействие со стороны образца.
Эти методы предназначены для картирования изменений электростатической силы и измерений распределений поверхностного потенциала и диэлектрической проницаемости. Они используют проводящий зонд, на который действует электростатическая сила со стороны образца. Процесс измерений хорошо описывается моделью, в которой зонд и образец образуют две обкладки микроскопического конденсатора (Рис. 1a).
Вклады этих взаимодействий можно разделить, либо регистрируя их в различных проходах сканирования при одинаковой частоте возбуждения (двухпроходная методика) или обойдясь одним проходом, в котором одновременно измеряются механические и электростатические взаимодействия по разным частотным каналам [1].
P.S. Рекомендуем также воспользоваться поиском в справочной системе КонсультантПлюс, там есть бесплатный пробный доступ.
Источники:
https://spmag.ru/articles/zapolnenie-esm-7&rut=1bed55d75422e6ef2e68d160aab68229f66410090d24dd9736a923ea736ebe45
https://www.ntmdt-si.ru/resources/spm-principles/atomic-force-microscopy/electrostatic-force-modes/efm&rut=1726b58dde55434bb3a2197cca1c6405db447fb8843d9ad27a0783ae1b7371cc
https://docskey.ru/pd/19-jesm/jesm-07.html&rut=ba64e2470ce09c84ea6b273d5ea91979bb3e17638e1684697bb3616fe2d3b187
https://fb.ru/article/491218/2023-spravka-esm—kak-poluchit-i-dlya-chego-nujna&rut=63ff75f70a2fd23b932ef71b071c06cff93d6ef3d3f406d6071c0ca19a3d7e66
https://biznes-practic.ru/vychety/forma-esm.html&rut=045867e496019cc798826c1f0e0b21b44296df62a29d849dc2a1cc3b3bfccfdf
https://assistentus.ru/forma/esm-5-karta-ucheta-raboty-stroitelnoj-mashiny-mehanizma/&rut=ff13f9e3a298ddc62df8cb2c7f9a3bd0520c079dcbd20bae712a508af7d5136a
https://assistentus.ru/forma/esm-2-putevoj-list-stroitelnoj-mashiny/&rut=ad1fad48deda0006e8f67184b6cef8794a25f897e2ef42bebbe14a3a417c5046
https://www.ntmdt-si.ru/resources/spm-principles/atomic-force-microscopy/electrostatic-force-modes&rut=2c28db80c6d601f7f62e389e1f7c0a4a49fa108833a4e68b1011cdc450c795c6
https://assistentus.ru/forma/esm-3-raport-o-rabote-stroitelnoj-mashiny/&rut=e19bf9db5040a9158e121c62feb2d824b4f71ba370edcfe329364a118b8d0728